Aprašymas

Techniniai parametrai

Produkto įvadas

12 inch(300mm) Polished Wafer DSC01251 730

12 inch(300mm) Polished Wafer DSC01700 730

Medžiagos savybės

Parametras	Charakteristika	ASTM valdymo metodas
Tipas/dopantas	P, boro N, fosforo N, stibio N, arseninis	F42
Orientacijos	<100>, <111>Atminkite orientacijas pagal kliento specifikacijas	F26
Deguonies kiekis	10¹⁹PPMA pasirinktiniai nuokrypiai pagal kliento specifikaciją	F121
Anglies kiekis	< 0.6 ppmA	F123
Atsparumo diapazonas- P, Boron-N, fosforo-N,	0.001 - 50 Ohm cm 0.1 - 40 Ohm cm 0.005 - 0.025 Ohm cm <0,005 omų cm	F84

Mechaninės savybės

Parametras	Pagrindinis	Monitorius/ išbandyti a	Testas	ASTM metodas
Skersmuo	300 ± 0,2 mm	300 ± 0,2 mm	300 ± 0,5 mm	F613
Storis	775 ± 20 µm (standartas)	775 ± 25 µm (standartas) 450 ± 25 µm 625 ± 25 µm 1000 ± 25 µm 1300 ± 25 µm 1500 ± 25 µM	775 ± 50 µm (standartas)	F533
TTV	< 5 µm	< 10 µm	< 15 µm	F657
Lankas	< 30 µm	< 30 µm	< 50 µm	F657
Apvynioti	< 30 µm	< 30 µm	< 50 µm	F657
Kraštų apvalinimas	Pusiau st			F928
Žymėjimas	Tik pirminis pusiau plokščias, pusiau st.			F26, F671

Paviršiaus kokybė

Parametras	Pagrindinis	Monitorius/ išbandyti a	Testas	ASTM metodas
Priekinės pusės kriterijai
Paviršiaus sąlyga	Cheminis mechaninis poliruotas	Cheminis mechaninis poliruotas	Cheminis mechaninis poliruotas	F523
Paviršiaus šiurkštumas	< 2 A°	< 2 A°	< 2 A°
Contamination,Particles @ >0.3 µm	= 20	= 20	= 30	F523
Migla, duobės, apelsinų žievelės	Nėra	Nėra	Nėra	F523
Pjūklo žymės, strypai	Nėra	Nėra	Nėra	F523
Galinės pusės kriterijai
Įtrūkimai, varnos pėdos, pjūklo žymės, dėmės	Nėra	Nėra	Nėra	F523
Paviršiaus sąlyga	Kaustinis išgraviruotas			F523

Produkto aprašymas

Puikiai tinka mikrofluidikos programoms . mikroelektronikos ar MEMS programoms, susisiekite su mumis, kad gautumėte išsamias specifikacijas .

Nors puslaidininkių įtaisai ir toliau susitraukia, vafliams tampa vis svarbesnė, kad jų priekinėje ir gale būtų aukšta paviršiaus kokybė .. Šiuo metu šie vafliai yra dažniausiai pasitaikantys mikroelektromechaninėse sistemose (mEMS), vaflių surišimas, siliconas ant izoliatoriaus (SOI) gamybos ir pritaikymo, atsižvelgiant į griežtus plokščius reikalavimus . microelektros. Puslaidininkių pramonė ir yra įsipareigojusi rasti ilgalaikius sprendimus visiems klientų reikalavimams .

Didelės dvigubų šoninių poliruotų vaflių atsargos visuose vaflių skersmenyse nuo 100 mm iki 300 mm . Jei mūsų specifikacijos nėra mūsų inventoriuje, mes užmezgėme ilgalaikius ryšius su daugybe pardavėjų, kurie gali pritaikyti silikonyje, o kitos medžiagos, kad būtų galima pritaikyti bet kokias unikalias specifikacijas. dvigubų šoninių politinių vėjų. pramonė .

Individualizuotas pjūvis ir poliravimas taip pat yra vertinamas atsižvelgiant į jūsų reikalavimus ., nedvejodami susisiekite su mumis .

Produkto savybės

· 12 "P/N tipas, poliruotas silicio plokštelė (25 vnt)

· Orientacija: 300

· Atsparumas: 0.1 - 40 omas • cm (tai gali skirtis įvairiose partijose)

· Storis: 775+/-20 um

· „Prime“/„Monitor“/„Test“ pažymys

Populiarus Žymos: 12 colių (300 mm) vaflių, Kinijos, tiekėjai, gamintojai, gamyklos, pagaminti Kinijoje