Produkto įvadas
Medžiagos savybės
Parametras | Charakteristika | ASTM valdymo metodas |
Tipas/dopantas | P, boro N, fosforo N, stibio N, arseninis | F42 |
Orientacijos | <100>, <111>Atminkite orientacijas pagal kliento specifikacijas | F26 |
Deguonies kiekis | 1019 PPMA pasirinktiniai nuokrypiai pagal kliento specifikaciją | F121 |
Anglies kiekis | < 0.6 ppmA | F123 |
Atsparumo diapazonas- P, Boron-N, fosforo-N, | 0.001 - 50 Ohm cm | F84 |
Mechaninės savybės
Parametras | Pagrindinis | Monitorius/ išbandyti a | Testas | ASTM metodas |
Skersmuo | 200 ± 0,2 mm | 200 ± 0,2 mm | 200 ± 0,5 mm | F613 |
Storis | 725 ± 20 µm (standartas) | 725 ± 25 μm (standartas) 450 ± 25 µm 625 ± 25 µm 1000 ± 25 µm 1300 ± 25 µm 1500 ± 25 µm | 725 ± 50 µm (standartas) | F533 |
TTV | < 5 µm | < 10 µm | < 15 µm | F657 |
Lankas | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm | F657 |
Apvynioti | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm | F657 |
Kraštų apvalinimas | Pusiau st | F928 | ||
Žymėjimas | Tik pirminis pusiau plokščias, pusiau st. | F26, F671 | ||
Paviršiaus kokybė
Parametras | Pagrindinis | Monitorius/ išbandyti a | Testas | ASTM metodas |
Priekinės pusės kriterijai | ||||
Paviršiaus sąlyga | Cheminis mechaninis poliruotas | Cheminis mechaninis poliruotas | Cheminis mechaninis poliruotas | F523 |
Paviršiaus šiurkštumas | < 2 A° | < 2 A° | < 2 A° | |
Contamination,Particles @ >0.3 µm | = 20 | = 20 | = 30 | F523 |
Migla, duobės, apelsinų žievelės | Nėra | Nėra | Nėra | F523 |
Pjūklo žymės, strypai | Nėra | Nėra | Nėra | F523 |
Galinės pusės kriterijai | ||||
Įtrūkimai, varnos pėdos, pjūklo žymės, dėmės | Nėra | Nėra | Nėra | F523 |
Paviršiaus sąlyga | Kaustinis išgraviruotas | F523 | ||
Produkto aprašymas
Puikiai tinka mikrofluidikos programoms . mikroelektronikos ar MEMS programoms, susisiekite su mumis, kad gautumėte išsamias specifikacijas .
„Microelectronics“ produktų linija apima ir vienos pusės poliruotą (SSP), ir dvigubą šoninę poliruotą (DSP) vaflių substratą . dvigubos šoninės poliruotos plokštelės, paprastai reikalingos puslaidininkių, MEMS ir kitose sritys
Didelės dvigubų šoninių poliruotų vaflių atsargos visuose vaflių skersmenyse nuo 100 mm iki 300 mm . Jei mūsų specifikacijos nėra mūsų inventoriuje, mes užmezgėme ilgalaikius ryšius su daugybe pardavėjų, kurie gali pritaikyti silikonyje, o kitos medžiagos, kad būtų galima pritaikyti bet kokias unikalias specifikacijas. dvigubų šoninių politinių vėjų. pramonė .
Individualizuotas pjūvis ir poliravimas taip pat yra vertinamas atsižvelgiant į jūsų reikalavimus ., nedvejodami susisiekite su mumis .
Produkto savybės
· 8 "P/N tipas, poliruotas silicio plokštelė (25 vnt)
· Orientacija: 200
· Atsparumas: 0.1 - 40 omas • cm (tai gali skirtis įvairiose partijose)
· Storis: 725+/-20 um
· „Prime“/„Monitor“/„Test“ pažymys
Populiarus Žymos: 8 colių (200 mm) vaflių, Kinijos, tiekėjai, gamintojai, gamyklos, pagaminti Kinijoje
