2019 m. buvo išplautos M12 (210 mm x 210 mm) p tipo mono plokštelės (295 mm skersmens silicio luitas). Tikimasi, kad 6 col. formatą M2 (156,75 mm x 156,75 mm) įdės M12 ir M6.
1 Medžiagų savybės
nuosavybė | Specifikacijos | Tikrinimo metodas |
Augimo metodas | Cz | |
Kristališkumas | Monokristalinis
| Lengvatiniai Etch metodai（ASTM F47-88） |
Laidumo tipas | P tipas | Napsonas EC-80TPN P/N |
Dopant
| Boras, Gallis
| - |
Deguonies koncentracija[Oi] | ≦8E+17 prie/cm3 | FTIR (ASTM F121-83) |
Anglies koncentracija[Cs] | ≦5E+16 esant/cm3 | FTIR (ASTM F123-91) |
Etch duobės tankis (dislokacijos tankis) | ≦500 cm-3 | Lengvatiniai Etch metodai（ASTM F47-88） |
Paviršiaus padėtis | <100>±3° | Rentgeno spindulių difrakcijos metodas (ASTM F26-1987) |
Pseudo kvadratinių pusių orientacija | <010>,<001>±3° | Rentgeno spindulių difrakcijos metodas (ASTM F26-1987) |
2 Elektrinės savybės
nuosavybė | Specifikacijos | Tikrinimo metodas |
Atsparumas | 0,5-1,5 Ωcm | Plokštelių tikrinimo sistema |
MCLT (mažumos vežėjo tarnavimo laikas) | ≧50 μs | Sinton BCT-400 (su injekcijos lygiu: 1E15 Cm-3) |
3 geometrija
nuosavybė | Specifikacijos | Tikrinimo metodas |
geometrija | Visas kvadratas | |
Vaflių šoninis ilgis | 210±0,25 mm | plokštelių tikrinimo sistema |
Plokštelių skersmuo | φ295±0,25 mm | plokštelių tikrinimo sistema |
Kampas tarp gretimų pusių | 90° ± 0,2° | plokštelių tikrinimo sistema |
Storis | 180﹢20/﹣10 μm; 170﹢20/﹣10 μm | plokštelių tikrinimo sistema |
TTV (bendras storio pokytis) | ≤27 μm | plokštelių tikrinimo sistema |
4 Paviršiaus ypatybės
nuosavybė | Specifikacijos | Tikrinimo metodas |
Pjovimo metodas | Dw | -- |
Paviršiaus kokybė | supjaustyti ir išvalyti, nėra matomo užteršimo (neleidžiama naudoti aliejaus ar tepalo, pirštų atspaudų, muilo dėmių, srutų dėmių, epoksidinių ir (arba) klijų dėmių) | plokštelių tikrinimo sistema |
Pjūklo žymės / žingsniai | ≤ 15μm | plokštelių tikrinimo sistema |
lankas | ≤ 40 μm | plokštelių tikrinimo sistema |
Metmenų | ≤ 40 μm | plokštelių tikrinimo sistema |
Lustas | gylis ≤0.3mm ir ilgis ≤ 0.5mm Max 2/vnt; be V lusto | Plika akimi arba plokštelių tikrinimo sistema |
Mikro įtrūkimai / skylės | Neleidžiama | plokštelių tikrinimo sistema |
Populiarus Žymos: p tipo m12 monokristalinės saulės plokštelės, Kinija, tiekėjai, gamintojai, gamykla, pagaminti Kinijoje
